Multipeak-Weisslicht-Interferometer ermöglichen hochgenaue Multilayer-Messungen

Präzise Abstand und Dicke messen Multipeak-Weisslicht-Interferometer ermöglichen hochgenaue Multilayer-Messungen

30.09.2022 Von Andreas Leu

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Die Produktgruppe der Weisslicht-Interferometer repräsentiert die präzisesten optischen Sensoren im Micro-Epsilon Gesamtportfolio. Ab sofort sind die InterferoMeter Systeme auch als Multipeak-Ausführung verfügbar. Sie messen bis zu 13 Schichten bei minimalen Schichtdicken bis 10 µm. Mit den Multipeak-Abstandssystemen ist nun die gleichzeitige Messung von Abstand und Dicke möglich.

Micro-Epsilon Weisslicht-Interferometer zeichnen sich durch ihre herausragende Präzision und absolute Messwerte aus. Die industrietauglichen Geräte eigenen sich sowohl zum Inline-Einsatz für die Maschinen-Integration als auch für Laboranwendungen. Weisslicht-Interferometer messen Abstand sowie Dicke und erreichen dabei Nanometer-Genauigkeiten bei Auflösungen im Pikometerbereich. Mit den neuen Multipeak-Ausführungen wird nun auch die hochpräzise Erfassung mehrerer transparenter Schichten in nur einem Messvorgang ermöglicht. Zwei Controller-Modelle stehen zur Multipeak-Abstandsmessung (IMS5x00-DS/MP) oder Mehrschicht-Dickenmessung (IMS5400-TH/MP) zur Verfügung. Die beiden Systemvarianten unterscheiden sich dahingehend, dass die Schichtdicken bei den Abstandssystemen aus den jeweiligen Abstandswerten berechnet und beim Dickensystem direkt gemessen werden. Je nach Applikation profitiert der Anwender dadurch von unterschiedlichen Vorteilen. Systeme zur Multipeak-Abstandsmessung werden insbesondere bei Ausrichtungs- und Positionieraufgaben eingesetzt, bei denen ein Abstand gemessen und gleichzeitig eine Dicke bestimmt werden soll. In einem grossen Messbereich von 2,1 mm lassen sich bis zu 13 Schichten mit minimalen Dicken bis zu 10 µm (BK7) erfassen. In Relation zur Genauigkeit erfolgt die Messung dabei aus grossem Abstand von rund 19 mm.

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