Neue Generation konfokal-chromatischer Sensoren

Vielseitig und hochpräzise Neue Generation konfokal-chromatischer Sensoren

27.03.2026 Von Micro-Epsilon 1 min Lesedauer

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GLYN GmbH & Co. KG

Baumer Group

FAULHABER SA

Die Hochtemperatur-Sensoren confocalDT IFS2407-xHT/VAC setzen neue Massstäbe für Messungen in anspruchsvollen Umgebungen. Die konfokal-chromatischen Sensoren liefern bei Temperaturen bis zu 200 °C höchstpräzise Messergebnisse. Dank minimaler Ausgasung sind die Sensoren auch für den Einsatz bis zum Ultrahochvakuum (UHV) ausgelegt und eignen sich ideal für Messaufgaben im Präzisionsmaschinenbau und in der Halbleiterindustrie.

Der neue confocalDT IFS2407-xHT/VAC Hochtemperatur-Sensor ist der erste optische Sensor im Portfolio von Micro-Epsilon, der hohen Temperaturen bis zu 200 °C standhält. Durch den Verzicht auf organische Klebstoffe sind die Hochtemperatur-Sensoren aus Edelstahl ausgasungsarm und somit bestens für den Einsatz bis zum Ultrahochvakuum (UHV) geeignet. Auch der passive Komponentenaufbau begünstigt Messungen im Vakuum, da die Sensoren keine Wärmestrahlung an die Umgebung abgeben. Die innovativen HT-Modelle werden sowohl zur Weg- und Abstandsmessung auf reflektierenden und diffusen Oberflächen als auch für die Dickenmessung eingesetzt. Zudem überzeugen die HT-Sensoren mit einer hervorragenden Linearität von bis zu < ±0,18 µm und einer äusserst hohen Temperaturstabilität von bis zu < 0,1 µm/°C. Damit sind die konfokal-chromatischen Sensoren prädestiniert für Messaufgaben in der Halbleiter- und Elektronikindustrie sowie im Präzisionsmaschinenbau. Dank ihrer kompakten Bauform eignen sich die Sensoren ideal für Anwendungen mit begrenztem Bauraum.

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Stand: 08.12.2025

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