Neue Vakuumsensoren mit 90°-Strahlengang

Für Hochpräzisionsanwendungen Neue Vakuumsensoren mit 90°-Strahlengang

28.02.2025 Von Micro-Epsilon 1 min Lesedauer

Anbieter zum Thema

Micro-Epsilon (Swiss) AG

GLYN GmbH & Co. KG

Sick AG

Baumer Group

Die Micro-Epsilon-Absolut-Interferometer setzen neue Massstäbe in der hochpräzisen Abstandsmessung. Der neue Miniatur-Sensor IMP-DS10/90/VAC ist für den Einsatz im Vakuum konzipiert und erlaubt dank 90-Grad-Strahlengang eine platzsparende Integration. Kompatibel ist der Sensor mit den Controllern Interferometer IMS5400 oder IMS5600.

Die Absolut-Interferometer «interferoMeter 5400-DS» und «5600-DS» werden zur Abstandsmessung mit Nanometer-Genauigkeit eingesetzt. Die Produktgruppe wurde nun um neue Sensoren mit einem grossen Grundabstand von 10 mm erweitert. Diese sind für Hochpräzisionsapplikationen in Reinraumumgebungen und im Vakuum konzipiert, beispielsweise für Messungen auf beschichteten Wafern. Eine nichtmagnetische Titan-UHV-Variante ermöglicht zudem den Einsatz bei starken Magnetfeldern, wie sie unter anderem in der Medizintechnik im Kernspin oder im Elektronenstrahlmikroskop vorkommen. Die Bauweise mit 90°-Strahlengang reduziert die benötigte Bauraumtiefe enorm. Je nach Wahl des Controllers sind Linearitäten von < ±50 nm oder < ±10 nm möglich. Für eine optimale Integration in verschiedene Steuerungen und Produktionsprogramme verfügen die innovativen Absolut-Interferometer über umfangreiche Anbindungsmöglichkeiten. Sie umfassen sowohl digitale Schnittstellen wie Ethernet, EtherCAT, RS422, Profinet und EtherNet/IP als auch einen Analogausgang. Die gesamte Konfiguration des Controllers und von dessen Sensoren findet ohne zusätzliche Software wie gewohnt über das Webinterface statt.

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Stand: 08.12.2025

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