3D-Sensoren Präzise 3D-Inspektion spiegelnder Oberflächen

Redakteur: Andreas Leu

Der Sensor führt 3D-Oberflächeninspektionen von spiegelnden und glänzenden Oberflächen aus. Die präzise Erkennung von Abweichungen ermöglicht die Einhaltung höchster Qualitätsansprüche.

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(Bild: Micro-Epsilon)

Wenn hochpräzise 3D-Messungen auf spiegelnden und glänzenden Bauteilen gefragt sind, kommt der Sensor ReflectControl zum Einsatz. Insbesondere bei ebenen Oberflächen überzeugt die Technologie durch hohe Messraten bei Mikrometer-Genauigkeit. Der Sensor generiert ein Streifenmuster, das über die Oberfläche des Messobjekts in die Kamera des Sensors gespiegelt wird. Verzerrungen im Streifenmuster bedeuten Abweichungen auf der Oberfläche. Diese werden softwarebasiert ausgewertet. Der 3D-Sensor erkennt prozesssicher minimale Ebenheitsabweichungen unter 1 µm. Eingesetzt wird der Sensor beispielsweise zur 3D-Formerfassung von Wafern in der Halbleiterproduktion.

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