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Das Kamerasystem über dem hinterleuchteten Ausrichttisch erkennt die genaue Position des Wafers und gibt diese Information an die Software weiter. Basierend darauf wird die Lage- und Winkelkompensation berechnet, mit welcher der Wafer in das Carriernest eingelegt werden muss. (Bild: Azur Space Solar Power)
Robotik für hochpräzises Handling sensibler Produkte

Mikrometergenaue Positionierung von Wafern

Für das automatisierte Be- und Entladen eines Werkstückträgers mit unterschiedlich grossen Wafern vor der PECVD-Beschichtung entwickelte acp systems für einen führenden Hersteller von Raumfahrt-Solartechnologie eine bildverarbeitungsgestützte Robotiklösung. Sie stellt sicher, dass die vorgegebene Positionierungsgenauigkeit in den Nestern der Werkstückträger von +/- 0,1 mm eingehalten und dafür sowohl die Fertigungstoleranzen der Carrier als auch deren während des Beladens auftretende abkühlungsbedingte Schrumpfung ausgeglichen wird.

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Das Forschungsteam programmierte eine Software mit einer standardisierten Schnittstellenbeschreibung, um die Integration von Dampferzeugern in Prozessleitsysteme zu vereinfachen.  (Bild: TH Köln)
Automatisierungssoftware

Modulare Dampferzeuger intelligent steuern

Dampferzeuger kommen in vielen Industriezweigen zum Einsatz, etwa um Operationsbesteck in Krankenhäusern zu sterilisieren oder Verpackungen zu reinigen. Um die verschiedenen Anwendungsfelder bedienen zu können, haben sich modulare Anlagen statt teurer Speziallösungen etabliert. Um deren Integration in Prozessleitsysteme zu vereinfachen, haben Forschende der TH Köln eine Software mit standardisierter Schnittstelle entwickelt und in Feldtests erfolgreich erprobt.

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