Die Anforderungen an die Abstands- und Dickenmessung sind in vielen Anwendungen extrem hoch. Folien, Flachglas, Computer-Festplatten, Displays oder Halbleiterwafer müssen mit enormer Genauigkeit gefertigt werden. Eine entsprechend präzise Messtechnik ist die optische Interferometrie. Micro- Epsilon bietet gleich drei Messsysteme an, die auf diesem Prinzip basieren.
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